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SRM 2000 高分辨率X射线衍射用校准标准品(美国NIST)

发布时间: 2024-11-30  点击次数: 103次

SRM 2000 高分辨率X射线衍射用校准标准品(美国NIST)

产品货号:SRM 2000

英文名称:Calibration Standard for High-Resolution X-Ray Diffraction

中文名称:高分辨率X射线衍射用校准标准品

规格:1 block


危险等级:非危险品


产品用途:

该标准参考材料 (SRM) 为高分辨率 X 射线衍射 (HRXRD) 社区提供了国际单位制 (SI) [1] 可追溯的 Si (220) 透射 d 间距、表面到晶体平面晶圆误切和表面到硅 (004) 布拉格角反射对于我们的参考波长。 SRM 2000 的一个单元由 25 mm × 25 mm × 0.725 mm 双抛光 (100) 导向的单晶硅样品组成,标称值为 50 nm Si0.85Ge0.15 外延层和 25 nm Si 帽。 这些认证值可用于校准 HRXRD 仪器。


储存及操作说明:

外延层可能受损或晶片机械应变;因此,应避免接触 SRM 的前表面。 要去除表面污染,请使用过滤后的氮气。

峰分布:测得的衍射峰明显不对称。 支持性测量表明,这种不对称可能不完quan是由于仪器效应,而部分是由于 SRM 2000 原料的特性。 因此,使用分离 Pearson VII 曲线来拟合和估计峰位置,并推荐用于确定校准峰位置。 由于不对称性对轮廓位置确定的影响不同,使用另一个轮廓函数可能会导致系统偏差。


有效期:SRM 2000 的认证在指ding的不确定性范围内无限期有效,前提是 SRM 按照本证书中给出的说明进行处理和储存(参见“处理、储存和使用说明")。 因此,不需要定期重新校准或重新认证此 SRM。 如果 SRM 损坏、污染或以其他方式修改,则认证将失效。


本公司保证全程采用美国NIST要求的运输条件进行产品运输。


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